分类
高纯铝锭:半导体产业链的“隐形冠军”
Jun 6th,2025
5 浏览量
半导体制造核心材料
- 超高纯铝制备:区域熔炼(Zone Refining)技术产出6N级高纯铝锭(纯度9999%),铜、铁杂质≤0.1ppm,电阻率≥65nΩ·m(SEMI标准);
- 溅射靶材应用:高纯铝锭经热等静压(HIP)制成300mm靶材,晶粒尺寸≤50μm,薄膜均匀性±3%(适配5nm制程);
- 键合线技术突破:4N高纯铝锭拉丝至18μm直径,断裂强度≥12gf(JEDEC标准),替代金线降低成本60%。

第三代半导体配套
- 碳化硅封装:铝碳化硅(Al-SiC)基板导热系数≥240W/(m·K),使SiC模块结温降低40℃;
- 氮化镓散热:微通道液冷板(高纯铝蚀刻)热流密度承载达500W/cm²,用于5G基站GaN芯片。